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2真空泵抽氣率：泵的抽速單位為m3/s或L/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)蓋，在規(guī)定條件下工作時(shí)，從試驗(yàn)蓋流出的氣體流量與在試驗(yàn)蓋指定位置測得的平衡壓力之比。稱為泵的泵送速度。
3.真空泵抽氣量：Ebara荏原真空泵維修的抽氣量單位為pam3/s或PAL/s，指泵入口處的氣體流量。
荏原真空泵EBARA維修1真空泵的極限壓力Ebara 荏原真空泵維修的極限壓力單位為PA，即泵在入口裝有標(biāo)準(zhǔn)的測試蓋，在規(guī)定的條件下工作，在正常運(yùn)行下趨于穩(wěn)定，不引入氣體。
2真空泵抽氣率：泵的抽速單位為m3/s或L/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)蓋，在規(guī)定條件下工作時(shí)，從試驗(yàn)蓋流出的氣體流量與在試驗(yàn)蓋指定位置測得的平衡壓力之比。稱為泵的泵送速度。
3.真空泵抽氣量：Ebara荏原真空泵維修的抽氣量單位為pam3/s或PAL/s，指泵入口處的氣體流量。
4真空泵啟動(dòng)壓力：真空泵啟動(dòng)壓力單位為PA，指泵啟動(dòng)時(shí)無損壞，具有抽氣作用的壓力。
5泵前級壓力：真空泵原壓力單位為PA，指排氣壓力低于一個(gè)大氣壓的真空泵出口壓力。
6真空泵前級壓力大：真空泵口前級大壓力單位為PA，指前級壓力超過泵損壞。
7真空泵大工作壓力：真空泵大工作壓力單位為PA，為*大抽氣量對應(yīng)的入口壓力。在這種壓力下，泵可以連續(xù)工作而不變質(zhì)或損壞。
8壓縮比：壓縮比是指給定氣體的泵出口壓力與入口壓力之比。
9He系數(shù)：根據(jù)分子滲出量計(jì)算出的抽運(yùn)通道面積上的實(shí)際抽運(yùn)速度與理論抽運(yùn)速度的比值。
10泵速系數(shù)：泵的實(shí)際泵速與根據(jù)泵入口分子流計(jì)算的理論泵速之比。
11泵的回流流量單位為g/cm2。S、 泵在規(guī)定條件下工作時(shí)，通過泵進(jìn)口的單位面積泵流量的質(zhì)量流量。
12水蒸氣允許單位為kg/h，是指在正常環(huán)境條件下，氣體壓載泵連續(xù)運(yùn)行時(shí)所能抽出的水蒸氣質(zhì)量流量。